光電測試
FPA組件傳遞函數(shù)成像測量系統(tǒng)
本設(shè)備主要用于測試紅外整機(jī)最小可分辨溫差（MRTD）、最小可探測溫差（MDTD）、噪聲等效溫差（NETD）、傳遞函數(shù)（MTF）、視場、光軸一致性、空間分辨率、畸變等指標(biāo)。
主要指標(biāo)及參數(shù)
指標(biāo) |
參數(shù) |
波段 |
0.4μm ~ 14μm |
平行光管焦距 |
2998mm |
平行光管口徑 |
300mm |
黑體溫度精度 |
±0.01℃ |
轉(zhuǎn)臺(tái)精度 |
±20” |
轉(zhuǎn)臺(tái)范圍 |
360°×60° |
NETD測試范圍 |
10mK以上 |
MRTD靶標(biāo)范圍 |
空間頻率0.163C/mrad ~ 14.994C/mrad |
MDTD靶標(biāo)范圍 |
空間頻率0.164/mrad ~ 14.994/mrad |
MTF精度 |
±0.03MTF點(diǎn) |
支持視頻格式 |
模擬標(biāo)準(zhǔn)PAL、NTSC制； 數(shù)字Camlink輸出； LCD、監(jiān)視器輸出 |
地址：北京市朝陽區(qū)酒仙橋路4號(hào) 電話：010-64303480 010-84321451
PTI弱吸收測量儀
本設(shè)備主要用于晶體材料內(nèi)部雜質(zhì)吸收和膜層缺陷弱吸收。
主要指標(biāo)及參數(shù)
指標(biāo) |
參數(shù) |
測量范圍 |
透射膜層、透明晶體、透明陶瓷、透明玻璃等 |
波長范圍 |
1064nm |
測量精度 |
±0.1nm |
地址：北京市朝陽區(qū)酒仙橋路4號(hào) 電話：010-64303480 010-84321
波長干涉儀
本設(shè)備主要用于測量能夠透過1064nm光和633nm光的晶體波前畸變，例如：Ho:Cr:Tm:YAG、Er:YAG等。
主要指標(biāo)及參數(shù)
指標(biāo) |
參數(shù) |
測試波長范圍 |
633nm、1064nm |
測試尺寸范圍 |
Ø3mm ~ Ø10mm×20mm ~ 150mm @1064nm Ø3mm ~ Ø10mm×250mm @633nm |
測量精度 |
λ/12@1064nm λ/20@633nm |
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測焦儀
本設(shè)備主要用于正值或負(fù)值有效焦距的測量；調(diào)制傳遞函數(shù)的測量；后截距的測量；曲率半徑的測量；角度的測量等。
主要指標(biāo)及參數(shù)
指標(biāo) |
參數(shù) |
焦距測量精度 |
0.1%~0.3% |
軸上傳遞函數(shù) |
波長范圍：400nm~1000nm 小孔精度：2% |
后截距測量精度 |
0.05%~0.3% |
角度 |
測量精度：1” 重復(fù)性：0.2” |
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超級(jí)球徑儀
本設(shè)備主要用于各類光學(xué)鏡頭曲率半徑的檢驗(yàn)工作。
主要指標(biāo)及參數(shù)
指標(biāo) |
參數(shù) |
測量范圍 |
凸面：+3mm ~ +∞ 凹面：-6mm ~ -∞ |
測量口徑 |
6~150mm（可擴(kuò)展至300mm） |
測量精度 |
線性編碼器分辨率為0.1μm，絕對(duì)精度為±0.2μm，所測得的曲率半徑精度為0.01%。 |
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單程損耗測試系統(tǒng)
本設(shè)備主要用于測量晶體材料在1064nm波長激光單次通過后造成的光能量損耗。
主要指標(biāo)及參數(shù)
指標(biāo) |
參數(shù) |
測試波長范圍 |
1064nm |
測試尺寸范圍 |
Ø4mm ~ Ø20mm×250mm |
測量誤差 |
≤±10% |
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PGI Optics 300 非球面輪廓儀
本設(shè)備主要用于平面、球面、非球面光學(xué)元件研磨及拋光階段的面形測量及球面光學(xué)元件的曲率半徑測量。可通過測量被加工件的面型誤差，自動(dòng)生成加工指令，反饋加工設(shè)備進(jìn)行修補(bǔ)加工，以改善被加工件質(zhì)量品質(zhì)。
主要指標(biāo)及參數(shù)
指標(biāo) |
參數(shù) |
最大測量直徑 |
260mm |
最大測量高度 |
45mm |
測量面型精度 |
0.3um （采用60mm測針對(duì)傳感器全量程標(biāo)定） |
面型重復(fù)精度 |
0.1μm |
傳動(dòng)箱直線精度 |
≤110nm/260mm |
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分光光度計(jì)
本設(shè)備主要用于樣品0-60度透過率的測量，樣品6-68度反射率的測量，樣品漫反射測量，偏振光p和s光的透過和反射測量。
主要指標(biāo)及參數(shù)
指標(biāo) |
參數(shù) |
波長范圍 |
185nm ~ 3300nm |
尺寸范圍 |
Ø3mm ~ Ø20mm @透過率 Ø5mm ~ Ø20mm @反射率 |
測量精度 |
±0.1nm |
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傅里葉紅外光譜儀
本設(shè)備主要用于紅外材料和膜層的中、遠(yuǎn)紅外光譜測量。
主要指標(biāo)及參數(shù)
指標(biāo) |
參數(shù) |
測量范圍 |
紅外材料、紅外膜層 |
波長范圍 |
7800cm-1 ~ 350cm-1 |
波數(shù)精度 |
優(yōu)于0.01cm-1 |
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高精度測角儀
本設(shè)備主要用于測量具有一定反光率的平面固體的幾何角度，例如：晶體棱鏡，金屬多面體等。
主要指標(biāo)及參數(shù)
指標(biāo) |
參數(shù) |
測量范圍 |
直徑≥Ø3mm |
測量精度 |
≤0.3” |
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光束分析儀
本設(shè)備主要用于檢測光學(xué)系統(tǒng)光束截面的相對(duì)功率空域分布、光束直徑、橫模模式、束散角等，也可用于進(jìn)行光學(xué)系統(tǒng)光軸一致性的調(diào)整；調(diào)整光學(xué)系統(tǒng)的光學(xué)指標(biāo)。
主要指標(biāo)及參數(shù)
指標(biāo) |
參數(shù) |
波長范圍 |
190nm~1800nm |
分辨率 |
最高0.1μm |
光束口徑 |
最小2μm |
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紅外光學(xué)傳遞函數(shù)（MTF）測試儀
本設(shè)備可測試紅外光學(xué)物鏡系統(tǒng)、望遠(yuǎn)系統(tǒng)的光學(xué)傳遞函數(shù)（MTF）、焦距、透過率、畸變等指標(biāo)。
主要指標(biāo)及參數(shù)
指標(biāo) |
參數(shù) |
波段 |
1μm ~ 2.3μm 3μm ~ 5μm 8μm ~ 12μm |
平行光管焦距 |
2500mm |
平行光管口徑 |
300mm |
可測鏡頭規(guī)格 |
F數(shù)：0.7 ~ 4 焦距：10mm ~ 1200mm 鏡頭入瞳直徑：0mm ~ 300mm 軸向長度：0mm ~ 1000mm 重量：＜20Kg |
成像分辨率 |
0lp/mm ~ 300lp/mm @1μm ~ 2.3μm 0lp/mm ~ 300lp/mm @3μm ~ 5μm 0lp/mm ~ 100lp/mm @8μm ~ 12μm |
MTF精度 |
±0.03MTF點(diǎn) |
焦距精度 |
±1% |
透過率 |
±5% |
畸變 |
±1% |
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紅外整機(jī)測試設(shè)備
本設(shè)備可測試-50ºC到+65ºC環(huán)境下的紅外整機(jī)MRTD（最小可分辨溫差）、MDTD（最小可探測溫差）、NETD（噪聲等效溫差）、MTF（傳遞函數(shù)）、SiTF（信號(hào)傳遞函數(shù)）、固定圖案噪聲、空間分辨率等指標(biāo)。
主要指標(biāo)及參數(shù)
指標(biāo) |
參數(shù) |
波段 |
0.4μm ~ 14μm |
平行光管焦距 |
1500mm |
平行光管口徑 |
250mm |
黑體溫度精度 |
±0.01℃ |
NETD測試范圍 |
10mK以上 |
MRTD靶標(biāo)范圍 |
空間頻率0.28C/mrad ~ 10C/mrad |
MDTD靶標(biāo)范圍 |
空間頻率1/mrad ~ 20/mrad |
MTF精度 |
±0.03MTF點(diǎn) |
支持視頻格式 |
模擬標(biāo)準(zhǔn)PAL |
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紅外中心偏測量儀
本設(shè)備主要用于光學(xué)組件中心偏差的測量；共軸光學(xué)系統(tǒng)的裝調(diào)；初步驗(yàn)證共軸光學(xué)系統(tǒng)的光軸一致性；復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)中不同鏡片的中心偏差測量；晶體表面平整度測量。
主要指標(biāo)及參數(shù)
指標(biāo) |
參數(shù) |
光源 |
可見光：LED 中波紅外：3.39μm氦氖激光 長波紅外：10.3μm~10.8μm CO2激光 |
測量范圍 |
EFL/R：±2mm~2000mm |
定心精度 |
可見光：0.2μm 紅外波段：1μm |
重復(fù)精度 |
±0.1μm |
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Zygo Verifier 6”干涉儀
本設(shè)備主要用于精確測量光學(xué)零件表面的面型精度、平行度。
主要指標(biāo)及參數(shù)
指標(biāo) |
參數(shù) |
有效測量口徑 |
6” |
測量精度 |
PV值示值誤差為±0.008wave |
測試重復(fù)性 |
＜5% |
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鏡面定位儀
本設(shè)備主要用于可見光、紫外光學(xué)元件中心厚度和光學(xué)鏡頭及光學(xué)系統(tǒng)空氣間隔的檢測；可測量單個(gè)球面透鏡、非球面透鏡、柱面鏡、雙膠合透鏡、三膠合透鏡及平面鏡等光學(xué)元件的中心厚度；可檢測光學(xué)系統(tǒng)折轉(zhuǎn)光路的裝調(diào)質(zhì)量。
主要指標(biāo)及參數(shù)
指標(biāo) |
參數(shù) |
檢測最大光學(xué)厚度 |
800mm |
測量精度 |
0.15μm |
裝卡尺寸 |
最大200mm |
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雙路中心偏檢測儀
本設(shè)備主要用于測量鏡片數(shù)量較多的光學(xué)系統(tǒng)、測量不透可見光的鏡片中心偏差以及裝配紅外光學(xué)鏡頭，也可用于調(diào)整單片鏡片中心偏差、晶體表面平整度測量等。
主要指標(biāo)及參數(shù)
指標(biāo) |
參數(shù) |
工作波段 |
可見光波段與激光波段，波長為380Hz-750Hz。 |
測量口徑 |
最大500mm |
測量精度 |
±0.2μm / ±2” |
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消光比測試系統(tǒng)
本設(shè)備主要用于測量能夠透過1064nm光和633nm光的晶體的消光比，例如：Ho:Cr:Tm:YAG、Er:YAG等。
主要指標(biāo)及參數(shù)
指標(biāo) |
參數(shù) |
測試波長范圍 |
633nm、1064nm |
測試尺寸范圍 |
Ø3mm ~ Ø10mm×250mm |
測量誤差 |
≤±5% |
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原子力顯微鏡
本設(shè)備主要用于超光滑光學(xué)表面加工粗糙度監(jiān)控和膜層表面粗糙度監(jiān)控。
主要指標(biāo)及參數(shù)
指標(biāo) |
參數(shù) |
測量范圍 |
最大50μm×50μm |
測量精度 |
分辨度優(yōu)于0.1nm |
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FPA組件傳遞函數(shù)成像測量系統(tǒng)
本設(shè)備主要用于測試紅外整機(jī)最小可分辨溫差（MRTD）、最小可探測溫差（MDTD）、噪聲等效溫差（NETD）、傳遞函數(shù)（MTF）、視場、光軸一致性、空間分辨率、畸變等指標(biāo)。
主要指標(biāo)及參數(shù)
指標(biāo) |
參數(shù) |
波段 |
0.4μm ~ 14μm |
平行光管焦距 |
2998mm |
平行光管口徑 |
300mm |
黑體溫度精度 |
±0.01℃ |
轉(zhuǎn)臺(tái)精度 |
±20” |
轉(zhuǎn)臺(tái)范圍 |
360°×60° |
NETD測試范圍 |
10mK以上 |
MRTD靶標(biāo)范圍 |
空間頻率0.163C/mrad ~ 14.994C/mrad |
MDTD靶標(biāo)范圍 |
空間頻率0.164/mrad ~ 14.994/mrad |
MTF精度 |
±0.03MTF點(diǎn) |
支持視頻格式 |
模擬標(biāo)準(zhǔn)PAL、NTSC制； 數(shù)字Camlink輸出； LCD、監(jiān)視器輸出 |
地址：北京市朝陽區(qū)酒仙橋路4號(hào) 電話：010-64303480 010-84321451
