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強(qiáng)根鑄魂,推動國產(chǎn)離子注入機(jī)自立自強(qiáng)|實(shí)干篤行在一線
來源:新聞中心
發(fā)布時間:2023年12月26日 編輯:新聞中心

  穿過電科裝備北京爍科中科信公司制造中心的風(fēng)淋系統(tǒng),整條離子注入機(jī)研制產(chǎn)線映入眼簾,一臺臺設(shè)備完成裝配調(diào)試后,輸送至各集成電路先進(jìn)產(chǎn)線,參與“中國芯”制造。

  北京爍科中科信自成立之日起,就以攻克離子注入裝備關(guān)鍵技術(shù)瓶頸,支撐我國電子元器件制造工藝裝備自立自強(qiáng)為主責(zé),以離子注入機(jī)裝備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化為主業(yè),全力保障我國產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈安全與穩(wěn)定,成功入選第五批國家級專精特新“小巨人”企業(yè)培育名單。

  離子注入機(jī)的工作原理是通過電磁場控制高速運(yùn)動的離子,按照工藝要求以精準(zhǔn)方式完成注入。概念雖僅有短短一句話,但其難度不亞于以飛機(jī)的速度一次成功地完成側(cè)方位停車,因此,對離子注入機(jī)的綜合性能要求極為嚴(yán)格。

  “設(shè)備研制毫無經(jīng)驗(yàn)可循,攻關(guān)過程是一場孤軍奮戰(zhàn)的戰(zhàn)役,縱是如此,我們也要一往無前?!彪x子注入機(jī)研發(fā)團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人表示。

從“0”到全系列

  2003年,一群意氣風(fēng)發(fā)的青年變身“背包客”,坐上綠皮車遠(yuǎn)赴他鄉(xiāng),扎根北京,投身離子注入機(jī)事業(yè)。經(jīng)歷了“摸著石頭過河”的艱辛,突破了艱苦創(chuàng)業(yè)的困境,取得技術(shù)研發(fā)的成果。我國第一臺國產(chǎn)中束流離子注入整機(jī)于2008年研制成功,實(shí)現(xiàn)從“0”到“1”的突破。

  團(tuán)隊(duì)愈戰(zhàn)愈勇,連續(xù)突破了離子源、離子束傳輸與控制等五大關(guān)鍵技術(shù),攻克了離子注入機(jī)的技術(shù)瓶頸,完成了第三代化合物半導(dǎo)體離子注入機(jī)及大束流離子注入機(jī)研制,2021年,成功將高能離子注入機(jī)交付產(chǎn)線,形成了全系列國產(chǎn)離子注入機(jī)產(chǎn)品格局,實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)離子注入裝備的自主創(chuàng)新發(fā)展。

從“0”到全覆蓋

  “28納米幾乎是注入工藝中最為經(jīng)典、較為復(fù)雜的制程,也是注入工序中需求最多及生命周期最長的節(jié)點(diǎn)?!?

       為保障我國集成電路產(chǎn)線需求,北京爍科中科信向28納米工藝節(jié)點(diǎn)發(fā)起挑戰(zhàn),不僅要突破該節(jié)點(diǎn),還要實(shí)現(xiàn)全系列產(chǎn)品工藝全覆蓋。

  “28納米工藝對注入角度、注入劑量精度有嚴(yán)格要求,注入期間,設(shè)備軟硬件要緊密配合,需根據(jù)不同注入?yún)^(qū)域?qū)崟r對注入劑量進(jìn)行調(diào)整,稍有偏頗,良率將達(dá)不到產(chǎn)線要求。”

  由于廠內(nèi)設(shè)備無法真實(shí)模擬出產(chǎn)線注片環(huán)境,只能在客戶端進(jìn)行測試,攻關(guān)期間,工藝工程師和設(shè)備工程師輪番24小時駐守客戶端,只為將最新測試數(shù)據(jù)及時傳輸,通過數(shù)據(jù)分析,對劑量和角度進(jìn)行一遍又一遍地調(diào)整。

  現(xiàn)下,北京爍科中科信中束流及大束流設(shè)備均已達(dá)成工藝指標(biāo),且工藝水準(zhǔn)經(jīng)過了先進(jìn)集成電路產(chǎn)線驗(yàn)證,兩種設(shè)備產(chǎn)線晶圓制備累計超過2000萬片。高能離子注入機(jī)作為剛上線不久的兆伏級設(shè)備同樣打通了28納米節(jié)點(diǎn),且與同類型設(shè)備相比,能量范圍更寬、注入均一性能更好。

  從僅有十余人的小組,到如今人才濟(jì)濟(jì)的龐大團(tuán)隊(duì),北京爍科中科信一往無前的初心從未改變,正通過模組式交付方式讓裝備制造提速,以科學(xué)的科研體系使研發(fā)流程規(guī)范,通過與市場接軌提升裝備品質(zhì),讓更多電科制造的離子注入機(jī)服務(wù)于“中國芯”制造,切實(shí)保障我國集成電路制造行業(yè)在成熟和先進(jìn)制程領(lǐng)域的生產(chǎn)安全,為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展賦能。

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